专利号:2020108380979
本发明公开了一种固体润滑薄膜的低温制备方法,包括将工件安装在旋转式鼠笼箱中;旋转式鼠笼箱旋转可快速达到硫化物的形成温度;将氢气通入炉内,清理工件;将氩气通入炉内,升高工件温度;温度升至180℃时,将含硫气体通入炉内;停止供入各气体,待消耗完毕后,将电压降低至0V;继续冷却10-30min后,取出旋转式鼠笼箱及工件,将工件立即进行浸油处理,即在工件的表面制得硫化物固体自润滑薄膜。制备方法应用在离子电渗透工艺和\或离子镀工艺中。本发明提高工件升温速度,优化硫化物的沉积位置;降低固体润滑薄膜的成型温度,提高薄膜的生产效率,从而提高零件在高速、真空等严苛磨损工况下的服役寿命,降低生产成本,提高生产效益。