专利号：2006100006785

本发明公开一种对涂覆于玻璃或聚合体基板上的非晶硅进行多晶硅低温结晶化的过程中可确保重复实现性和安全性的、用于多晶硅低温结晶化的金属催化剂的掺杂装置及掺杂方法。本发明的用于多晶硅低温结晶化的金属催化剂的掺杂装置，包括：腔室、设置于所述腔室内并在上方可置设基板的加热装置、设置于所述加热装置上方的平面状对向电极板、设置于所述腔室内两侧的线性驱动装置、在所述线性驱动装置的作用下做线性运动的溅射枪，其中，所述溅射枪包括：结合于所述线性驱动装置的阴极电极、结合于所述阴极电极并与所述对向电极板相对向面设置的阴极电极板。